“耐高温压力传感器”在西安研制成功
来源：华声报 发布时间：2008-01-28
华声报讯：列入国家高技术研究发展计划（863计划）的“耐高温压力传感器”经过四年攻关，最近在西安交大研制成功。中广网报道称，中国高温压力传感器产品长期依赖进口的局面从此将彻底改变。
耐高温压力传感器广泛应用于航空航天、石油化工、汽车等领域高温环境下的压力测量。长期以来，美国、瑞士、英国等国外公司的耐高温压力传感器产品垄断了国际市场，中国高温压力传感器产品主要依赖进口。
研制中国有知识产权的耐高温压力传感器列入国家高技术研究发展计划后，西安交大蒋庄德教授率领课题组历时4年努力，终于完成了这一高科技攻关项目。
专家鉴定认为，西安交大精密工程研究所利用mems(微型机械电子系统)技术，研制出的硅隔离耐高温微型压力传感器，能在-30℃-250℃环境下进行压力测量，可完成1000mpa以下任意量程范围的压力测量，能承受2000℃瞬时高温冲击。该项目属国内首创，有效解决了中国航空航天、石油化工、汽车工业等领域高温环境下压力测量的技术难题，解决了瞬时高温冲击下传感器失效的难题，打破了国外同类产品对中国传感器市场的垄断，提升了中国这一行业的整体水平和国际竞争能力，具有很高的推广和使用价值。
此外，该产品采用高能氧离子注入技术制作二氧化硅隔离层，将检测电路与基底隔离开，避免高温下检测电路与基底之间的漏电流问题，解决了常规硅压力传感器120℃产生失效的技术难题；该产品将被测高温流体与硅敏感元件相隔离，避免了被测流体的瞬时高温冲击，解决了2000℃瞬时高温冲击的难题；采用钛-铂-金耐高温布线系统，解决了高温等恶劣环境下传感器引线的技术难题。专家认为，该项目性能指标和总体水平达到国际先进水平，在敏感元件集成设计和传感器结构设计等方面达到国际领先水平。
据业界人士介绍，西安交大研制的耐高温压力传感器可满足高温、高压、高频响及瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力测量，具有自主知识产权，填补了国内在此领域的多项空白，促进了中国航空航天、石油化工，汽车工业等领域的工业自动化进程；进一步的后续开发，还可生产变送器和与之配套的二次仪表产品，对于推动中国仪器仪表工业的发展，培养新的经济增长点具有重要意义。