激光干涉仪
主要特色与效益
1. 品质管制维护
2. 系统结构简单、重量轻
3. 自动数据采集
4. 激光准确度经由 NIST认证
5. 毋须三脚架及干涉镜
6. WindowsTM软件
7. RS-232接口
8. 自动环境补偿
9. 支持NMTBA、、ISO及 ASME B5.54标准
主要应用
1. 品质管制维护
2. 超精密定位
3. CNC机床、CMM、导螺杆及 DRO直线校验
激光干涉仪的技术参数:
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最大量程 |
100000mm |
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准确度 |
1μm/M ； |
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分辨率 |
0.01μm |
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最高工作速度 |
2400M/min |