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柔性电子制造

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柔性电子制造电子制造设备制造
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服务商: 华科机械科学与工程学院实验中心共享平台 服务类别: 自动化控制
依据教育部《高等学校仪器设备管理办法》、《华中科技大学仪器设备管理规定》,为促进仪器设备资源的有效配置,进一步加强对大型仪器设备的管理,促进大型仪器设备开放共享,提高大型仪器设备使用效益。柔性电子制造实验室拥有双面对准曝光机、反应离子刻蚀机、HMDS专用镀膜机、第二代电流体喷印设备、可控微环境电子打印设备、第一代原子层沉积设备等设备,可以实现各种非标准基片曝光、复杂微纳图案、正反双面曝光、制备微电子器件、多层硅通孔器件、柔性电子器件、MEMS器件。